平行光でなくても測定できるためコリメータレンズ不要の波面センサが発売されました。シャックハルトマン型の改良で、マイクロレンズアレイの代わりに特殊な回折フィルターを入れてあり、干渉縞によって波面を測定するようです。従来の4倍の空間分解能があるとのこと。

【 PHASICS社 SID4 】

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